等离子增强化学气相沉积装备与工艺集成技术

   发布时间: 2013-12-10    访问次数: 194

    国内现有的太阳能设备以及工艺基本依赖国外,生产成本居高不下,研发具有自主知识产权的太阳电池关键设备,形成一套可产业化的太阳电池成熟工艺,对于我国光伏行业的良性发展有着非常重要的作用。常州大学光伏协同创新中心对等离子辅助气相沉积设备(PECVD)及工艺技术开展了长期的研究。

 

1 四腔室PECVD设备

 

2. SiH3摩尔浓度在平行板电极间的分布情况研究

 

3等离子体随激发频率的变化(a)等离子体密度随激发频率的变化,b)等离子体电势随激发频率的变化

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